返回列表

微波等离子体CVD设备

DM-10000
2450MHz | 10kW
立即咨询
DM-10000型微波等离子体CVD设备可提供直径≥3inch金刚石生产能力，采用全进口的集成化供气系统、全自动windows控制系统，可实现高效率、无人化管理的金刚石稳定批量产出。
    • 精密设计
      独立开发，拥有自主知识产权，精密设计与仿真
    • 高稳定性
      搭配云顶国际版 2450MHz-10kW固态功率源，具有极高的频率、功率稳定性
    • 集成金刚石生长工艺
      集成金刚石生长工艺，等离子放电区域直径可达82mm，均匀沉积区直径≥3inch
    • 全进口供气系统
      全进口集成化供气系统，高稳定可靠压力控制系统
    • 全自动控制系统
      Windows系统，智能软件控制系统，支持全自动操作；生长工艺流程模块化，可独立或灵活组合运行
    • 多重管理
      多重权限分级管理，完善的系统安全互锁
    • 在线实时监测
      三窗口在线实时监测、判断样品状态、等离子状态，实现样品生产过程的可视化、可量化检测
技术指标
型号DM-10000
微波频率2450MHz，稳定度＜±50ppm
微波功率0.5-10kW连续可调，稳定度≤1%
反应腔双层水冷不锈钢反应腔
钼基台放电区：≥φ82mm，均匀沉积区≥3inch
极限真空度≤3.7x10-3Torr或≤6x10-6Torr（分子泵）
真空漏率≤5x10-10Pa.m³/s（He）
工作气压5-226Torr，±0.1Torr
气路系统H₂/CH₄/N₂/O₂ (可选CO₂或Ar)，可扩展
测温系统300~1400℃(单色)或双色600~1800℃
控制系统计算机控制，手动/自动控制，视频监控
外形尺寸0.9m*2m*1.9m
重量820kg


咨询
应用范围
金刚石批量生长
MPCVD设备适合大面积与高品质单晶金刚石、多晶金刚石批量生长， 更多>
金刚石批量生长
MPCVD设备适合大面积与高品质单晶金刚石、多晶金刚石批量生长，
热销产品
相关新闻
028 - 85964177
283646939
Baidu
map