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微波等离子体CVD设备

HMPS-2060SP
2450MHz | 6kW
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HMPS-2060SP微波等离子体CVD系统是针对市场用户需求而设计研发的一款适用于单晶金刚石、多晶金刚石制备的综合实验和产业化设备，HMPS-2060SPMPCVD设备可提供50mm直径的金刚石材料生长能力，具有性能先进、功能完善、安全可靠、自动化程度高等特点，已广泛用于各大科研院所和知名金刚石材料制备企业，得到用户一致好评。
    • 精密设计
      独立开发，拥有自主知识产权，精密设计与仿真
    • 高稳定性
      搭配云顶国际版 2450MHz-6kW固态功率源，具有极高的频率、功率稳定性
    • 高可靠性
      进口高精度MFC，高可靠稳定压力控制系统
    • 智能控制
      智能软件控制系统，手动/自动控制
    • 多重调节
      多重安全联锁，多重调节样板台和腔板程控升降
    • 多重管理
      多重权限分级管理
技术指标
型号HMPS-2060SP
微波频率2450MHz，稳定度<±50ppm
微波功率0.5-6kw连续可调，稳定度≤1%
反应腔双层水冷不锈钢反应腔
钼基台放电区：60mm，均匀沉积区50mm
极限真空度≤3.7x10-3Torr或≤6x10-6Torr（分子泵）
真空漏率≤1.0x10-9Pa.m³/s（He）
工作气压5-226Torr，±0.1Torr
气路系统H₂/CH₄/N₂/O₂ (可选CO₂或Ar)，可扩展
测温系统300~1400℃(单色)或双色600~1800℃
控制系统PLC控制，手动/自动控制，多重安全联锁

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应用范围
多晶金刚石批量生长
MPCVD设备适用于大面积、高品质多晶金刚石的批量制备 更多>
金刚石批量生长
MPCVD设备适合大面积与高品质单晶金刚石、多晶金刚石批量生长， 更多>
多晶金刚石批量生长
MPCVD设备适用于大面积、高品质多晶金刚石的批量制备
金刚石批量生长
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