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固态微波远程等离子体源

固态微波远程等离子体源
2450MHz | 3kW

云顶国际版 提供的固态微波远程等离子体源系统【RPS】引进了德国领先的等离子体技术,主要由AC-DC电源、3kW固态微波源、远程等离子腔、微波传输波导及隔离器组成。

因固态微波远程等离子体源【RPS】的特殊结构,等离子体在反应区之外的等离子体放电腔中被激发,在保证高电离率与低重组率的同时,为用户提供高浓度、低温度、更均匀的活性自由基。有效的降低了电子、离子等高能活性离子对材料表面的轰击损伤,活性自由基对样品的作用占主导地位,有效控制反应均匀性,减少污染,是干法处理半导体材料的更优秀的方案。
    • 高稳定性
      云顶国际版 RPS匹配的固态微波源极高的功率、频率稳定度
    • 高可重复性
      晶圆到晶圆的高度可重复性
    • 适应性广
      很宽的工艺窗口,适应各种工艺条件使用
    • 快速启辉
      快速启辉能力(各种工艺下<2S)
    • 灵活匹配
      可实用手动/自动匹配灵活调节,减小反射功率
    • 多材质
      多种Tube材质可供选择
    • 更换方便
      耗材更换、维护清洁简单,除Tube外几乎无多余耗材

技术指标
频率2450MHz±50ppm
微波功率100-3000W
功率稳定度≤±1.5%@pset or ±10W(最大值为准)
适用气体O2,N2,H2,Ar,He,CF4,SF6,Cl2
运行气压范围0.1-20Torr
气体流量范围0.1-10slm
等离子体发生腔材质石英,陶瓷,蓝宝石可选
电源输入AC208V,47-60Hz,35A三相四线
冷却方式

循环水冷,8L/min,18-25℃,1/2"快速接口(固态微波源部分)

循环水冷,3L/min,18-25℃(电源部分)

通信方式模拟接口,串口通信,Ethercat
等离子输出端口ISO-K63/KF40

应用范围
光刻胶去除
云顶国际版 固态微波远程等离子体源RPS是一种低压微波等离子去胶系统,应用于晶圆光刻胶去胶
原子层沉积(ALD)
云顶国际版 RPS非常适合给原子层沉积(ALD)系统提供反应气体
腔体清洗
云顶国际版 远程等离子体源(RPS)的传统应用不少,腔室清洁就是其中最为重要的应用之一
材料干法清洗
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